Micro-machining of resists on silicon by proton beam writing

Naoyuki Uchiya, Takuya Harada, Masato Murai, Hiroyuki Nishikawa, Junji Haga, Takahiro Sato, Yasuyuki Ishii, Tomihiro Kamiya

研究成果: Article査読

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フィンガープリント

「Micro-machining of resists on silicon by proton beam writing」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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