Micro-patterning of Siloxane Films by Proton Beam Writing

Hiroyuki Nishikawa, Ryutaro Tsuchiya, Tetsuro Yasukawa, Tomoki Kaneko, Yusuke Furuta, Tomoji Ohishi

研究成果: Article査読

本文言語English
ページ(範囲)239-243
ジャーナルJournal of Photopolymer Science and Technology, Vol.22, pp.239-243(2009)
22
出版ステータスPublished - 2009 6月 1

引用スタイル