Micro-stereolithography and its application to biochemical IC chip

Koji Ikuta, Shoji Maruo, Tadahiro Hasegawa, Takao Adachi

研究成果: Article査読

本文言語English
ページ(範囲)360-374
ジャーナルInternational Society for Optical Engineering
出版ステータスPublished - 2001 1 1

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