Micro structure of N-implanted Ti thin films prepared by ion beam sputtering deposition

Shinji Muraishi, Tatsuhiko Aizawa

研究成果: Paper査読

2 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Micro structure of N-implanted Ti thin films prepared by ion beam sputtering deposition」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science

Chemical Compounds