| 本文言語 | English |
|---|---|
| ページ（範囲） | 698-702 |
| ジャーナル | Surface and Interface Analysis. |
| 巻 | 34 (2002) |
| 出版ステータス | Published - 1800 |
Micro-XPS analysis of slide-tested TiN films with/without Cl+ implantation.
M. Yoshitake, T. Akhadejdamrong, T. Aizawa, K. Yoshihara
研究成果: Article › 査読