Micro-XPS analysis of slide-tested TiN films with/without Cl+ implantation.

M. Yoshitake, T. Akhadejdamrong, T. Aizawa, K. Yoshihara

研究成果: Article査読

本文言語English
ページ(範囲)698-702
ジャーナルSurface and Interface Analysis.
34 (2002)
出版ステータスPublished - 1800

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