Micro-XPS analysis of slide-tested TiN films with/without Cl+ implantation.

M. Yoshitake, T. Akhadejdamrong, T. Aizawa, K. Yoshihara

研究成果: Article

元の言語English
ページ（範囲）698-702
ジャーナルSurface and Interface Analysis.
巻34 (2002)
出版物ステータスPublished - 1800

これを引用

Yoshitake, M., Akhadejdamrong, T., Aizawa, T., & Yoshihara, K. (1800). Micro-XPS analysis of slide-tested TiN films with/without Cl+ implantation. Surface and Interface Analysis., 34 (2002), 698-702.