本文言語 | English |
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ページ(範囲) | 698-702 |
ジャーナル | Surface and Interface Analysis. |
巻 | 34 (2002) |
出版ステータス | Published - 1800 |
Micro-XPS analysis of slide-tested TiN films with/without Cl+ implantation.
M. Yoshitake, T. Akhadejdamrong, T. Aizawa, K. Yoshihara
研究成果: Article › 査読