Microporous Silica Membrane Prepared using TMOS/O3 CVD in Opposing Reactants Geometry

Suraj Gopalakrishnan, Kenta Ono, Mikihiro Nomura, Takashi Sugawara, Hiromitsu Takaba, Shin-ichi Nakao

研究成果: Article査読

本文言語English
ページ(範囲)3263-3266
ジャーナルTransactions of the Materials Research Society of Japan
29
出版ステータスPublished - 2004 11 1

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