Microstructure of electroplated Cu films

H.Okabayashi H.Okabayashi, K.Ueno K.Ueno, N.Ito N.Ito, S.Saito S.Saito, E.Nomura E.Nomura, Kazuyoshi Ueno

研究成果: Article査読

本文言語English
ジャーナルAdvanced Metallization Conference in 1999
出版ステータスPublished - 1999 10月 1

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