Moisture-absorption-induced permittivity deterioration and surface roughness enhancement of lanthanum oxide films on silicon

Yi Zhao, Masahiro Toyama, Koji Kita, Kentaro Kyuno, Akira Toriumi

研究成果: Article査読

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フィンガープリント

「Moisture-absorption-induced permittivity deterioration and surface roughness enhancement of lanthanum oxide films on silicon」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Physics & Astronomy