MOVPE growth and characterization of high-Al-content AlGaN/GaN heterostructures on 100-mm-diameter sapphire substrates

Makoto Miyoshi, Masahiro Sakai, Hiroyasu Ishikawa, Takashi Egawa, Takashi Jimbo, Mitsuhiro Tanaka, Osamu Oda

研究成果: Article

23 引用 (Scopus)

フィンガープリント MOVPE growth and characterization of high-Al-content AlGaN/GaN heterostructures on 100-mm-diameter sapphire substrates' の研究トピックを掘り下げます。これらはともに一意のフィンガープリントを構成します。

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