Multilevel gold metallization by use of selective W-CVD and polyimide siloxane film

K. Mikagi, T. Homma, T. Katoh, K. Tsunenari, Y. Murao

研究成果: Paper査読

4 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Multilevel gold metallization by use of selective W-CVD and polyimide siloxane film」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science