Multilevel planarized trench aluminum (PTA) interconnection using reflow sputtering and chemical mechanical polishing

K.Kikuta K.Kikuta, T.Nakajima T.Nakajima, K.Ueno K.Ueno, T.Kikkawa T.Kikkawa, Kazuyoshi Ueno

研究成果: Article査読

11 被引用数 (Scopus)
本文言語English
ページ(範囲)285-288
ジャーナル1993 IEDM Technical Digest
出版ステータスPublished - 1993 12 1

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