Multilevel planarized-trench-aluminum (PTA) interconnection using reflow sputtering and chemical mechanical polishing

K. Kikuta, T. Nakajima, K. Ueno, T. Kikkawa

研究成果: Conference contribution

11 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Multilevel planarized-trench-aluminum (PTA) interconnection using reflow sputtering and chemical mechanical polishing」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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Chemical Compounds