Nano-dot and nano-rod formation in electron beam induced deposition using iron carbonyl

M. Shimojo, W. Zhang, M. Takeguchi, M. Tanaka, K. Mitsuishi, K. Furuya

研究成果: Article査読

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本文言語English
ページ(範囲)5651-5653
ジャーナルJpn. J. Appl. Phys
44
出版ステータスPublished - 2005 1 1

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