Nano-fabrication combining electron-beam-induced deposition and low energy ion beam

K. Mitsuishi, M. Shimojo, M. Tanaka, K. Furuya

研究成果: Article査読

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本文言語English
ページ(範囲)244-246
ジャーナルNucl. Instrum. Meth. B
242
出版ステータスPublished - 2006 1 1

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