Nano-fabrication technique using electron-beam-induced deposition with low energy ion milling

K. Mitsuishi, M. Shimojo, M. Tanaka, M. Takeguchi, K. Furuya

研究成果: Article査読

本文言語English
ページ(範囲)29-34
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出版ステータスPublished - 2005 3 1

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