Nano-fabrication using a sub-nanometer-sized probe of high energy electrons

K. Mitsuishi, M. Shimojo, M. Takeguchi, M. Tanaka, M. Song, K. Furuya

研究成果: Article査読

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本文言語English
ページ(範囲)2064-2066
ジャーナルAppl. Phys. Lett.
83
出版ステータスPublished - 2003 1 1

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