Nanofabrication using electron-beam induced deposition combined with low energy ion milling

K. Mitsuishi, M. Shimojo, M. Tanaka, M. Takeguchi., K. Furuya

研究成果: Article査読

本文言語English
ページ(範囲)28
ジャーナルDefault journal
出版ステータスPublished - 2004 11 1

引用スタイル