Nanofabrication using electron-beam induced deposition combined with low energy ion milling

K. Mitsuishi, M. Shimojo, M. Tanaka, M. Takeguchi., K. Furuya

研究成果: Article › 査読

本文言語English
ページ（範囲）28
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出版ステータスPublished - 2004 11 1

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