Nanofabrication using electron beam induced deposition technique

M. Shimojo, M. Shimojo;K.Mitsuishi;M.Takeguchi;M.Tanaka;K. Furuya

研究成果: Article

本文言語English
ページ(範囲)209-230
ジャーナルEncyclopedia of Nanoscience and Nanotechnology
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出版ステータスPublished - 2011 12 1

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