Nanostructure fabrication by electron beam induced deposition with metal carbonyl precursor and water vapor

M. Takeguchi, M. Shimojo, K. Furuya

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本文言語English
ページ(範囲)6183-6186
ジャーナルJpn. J. Appl. Phys.
46
出版ステータスPublished - 2007 1 1

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