Nanostructure fabrication by electron-beam-induced deposition with metal carbonyl precursor and water vapor

Masaki Takeguchi, Masayuki Shimojo, Kazuo Furuya

研究成果: Article査読

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フィンガープリント

「Nanostructure fabrication by electron-beam-induced deposition with metal carbonyl precursor and water vapor」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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