Near-field acoustic levitatin of 8 Si wafer and glass substrate using flexural vibration

Y.Hashimoto Y.Hashimoto, Y.Koike Y.Koike, S.Ueha S.Ueha, Yoshikazu Koike

研究成果: Article

元の言語English
ページ(範囲)500-505
ジャーナルDefault journal
出版物ステータスPublished - 1996 5 1

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