本文言語 | English |
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ページ(範囲) | 500-505 |
ジャーナル | Default journal |
出版ステータス | Published - 1996 5月 1 |
Near-field acoustic levitatin of 8 Si wafer and glass substrate using flexural vibration
Y.Hashimoto Y.Hashimoto, Y.Koike Y.Koike, S.Ueha S.Ueha, Yoshikazu Koike
研究成果: Article › 査読