Negative Epoxy Resist for Permanent Use Optimized for Proton Beam Writing

H. Nishikawa, T. Nishiura, T. Mita, T. Takemori

研究成果: Article査読

本文言語English
ジャーナルInternational Conference on Materials for Advanced Technologies (ICMAT2011), Symposium BB
出版ステータスPublished - 2011 6月 1

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