New equipment for evaluating performance of microelements on MEMS

Y. Higo, K. Takashima, M. Shimojo, S. Sugiura, M. V. Swain

研究成果: Article査読

本文言語English
ページ(範囲)997-1000
ジャーナルDefault journal
出版ステータスPublished - 2000 1 1

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