New equipment for evaluating performance of microelements on MEMS

Y. Higo, K. Takashima, M. Shimojo, S. Sugiura, M. V. Swain

研究成果: Article

元の言語English
ページ(範囲)997-1000
ジャーナルDefault journal
出版物ステータスPublished - 2000 1 1

これを引用

Higo, Y., Takashima, K., Shimojo, M., Sugiura, S., & Swain, M. V. (2000). New equipment for evaluating performance of microelements on MEMS. Default journal, 997-1000.