New method for Characterizing Dielectric Properties of High-k Films Using Time-Dependent Open-Circuit Potential Measurement

K. Kita, M. Sasagawa, K. Kyuno, A. Toriumi

研究成果: Article査読

本文言語English
ページ(範囲)66-67
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出版ステータスPublished - 2002 9 1

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