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New polyimide siloxane film for interlayer dielectrics in sub-micron multilevel interconnection.
T. Homma
, K. Eguchi, Y. Numasawa, T. Kikkawa, Y. Hokari, K. Hamano
電気電子情報工学専攻
機能制御システム専攻
電子工学科
研究成果
:
Paper
›
査読
6
被引用数 (Scopus)
概要
フィンガープリント
フィンガープリント
「New polyimide siloxane film for interlayer dielectrics in sub-micron multilevel interconnection.」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。
並べ替え順
重み付け
アルファベット順
Engineering & Materials Science
Polyimides
Plasma CVD
Chemical bonds
Leakage currents
Thermal expansion
Heat resistance
Adhesives
Packaging
Temperature
Plastics
Degradation