New polyimide siloxane film for interlayer dielectrics in sub-micron multilevel interconnection.

T. Homma, K. Eguchi, Y. Numasawa, T. Kikkawa, Y. Hokari, K. Hamano

研究成果: Paper査読

6 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「New polyimide siloxane film for interlayer dielectrics in sub-micron multilevel interconnection.」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science