Novel in-situ passivation of MoCl5 doped multilayer graphene with MoOx for low-resistance interconnects

K. Kawamoto, Y. Saito, M. Kenmoku, K. Ueno

研究成果: Conference contribution

3 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Novel in-situ passivation of MoCl5 doped multilayer graphene with MoOx for low-resistance interconnects」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science