On-chip high speed microrobot made of Ni-Si composite structure with three-dimensionally patterned surface

M. Hagiwara, T. Kawahara, T. Iijima, T. Masuda, Y. Yamanishi, F. Arai

研究成果: Conference contribution

フィンガープリント

「On-chip high speed microrobot made of Ni-Si composite structure with three-dimensionally patterned surface」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science