On proximity effect in electron beam induced deposition

K. Mitsuishi, M. Shimojo, M. Takeguchi, M. Tanaka, K. Furuya

研究成果: Conference contribution

本文言語English
ホスト出版物のタイトルDigest of Papers - Microprocesses and Nanotechnology 2005
ホスト出版物のサブタイトル2005 International Microprocesses and Nanotechnology Conference
ページ154-155
ページ数2
出版ステータスPublished - 2005 12 1
外部発表はい
イベント2005 International Microprocesses and Nanotechnology Conference - Tokyo, Japan
継続期間: 2005 10 252005 10 28

出版物シリーズ

名前Digest of Papers - Microprocesses and Nanotechnology 2005: 2005 International Microprocesses and Nanotechnology Conference
2005

Conference

Conference2005 International Microprocesses and Nanotechnology Conference
国/地域Japan
CityTokyo
Period05/10/2505/10/28

ASJC Scopus subject areas

  • 工学(全般)

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