Permittivity Increase of Yttriium-Doped HfO2 through Structural Phase Transformation

K.Kita K.Kita, K.Kyuno K.Kyuno, A.Torium A.Torium, Kentaro Kyuno

研究成果: Article査読

本文言語English
ジャーナルApplied Physics Letters
86
出版ステータスPublished - 2005 4 1

引用スタイル