Phase Separation into Nano-crystalline Nitrides in Ternary Ti-Si-N System via N Implantation.

S. Muraishi, T. Aizawa

研究成果: Article

元の言語English
ページ(範囲)3651-3654
ジャーナルMaterials Science Forum,
475-479 (2004)
出版物ステータスPublished - 1800

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