Photopatterning of tantalum oxide films by a sol-gel method using a KrF excimer laser

T. Ohishi, A. Katoh

研究成果: Article査読

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フィンガープリント

「Photopatterning of tantalum oxide films by a sol-gel method using a KrF excimer laser」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science

Chemical Compounds