Plasma etcing with metallic masking for micro-patterning onto DLC coated mold-die

N.T. Redationo, E.E. Yunata, Tatsuhiko Aizawa

研究成果: Article査読

本文言語English
ページ(範囲)19-20
ジャーナルProceedings of 4th Asian workshop on nano/micro forming technology
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出版ステータスPublished - 2011 10 27

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