Position and size controlled fabrication of iron silicide nano-rods by electron beam induced deposition using an ultrahigh vacuum transmission electron microscope

M. Tanaka, F. Chu, M. Shimojo, M. Takeguchi, K. Mitsuishi, K. Furuya

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本文言語English
ページ(範囲)5635-5638
ジャーナルJpn. J. Appl. Phys
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出版ステータスPublished - 2005 1 1

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