Position and size controlled fabrication of nano-metals and semiconductors with fine focused electron beam

K. Furuya, K. Mitsuishi, M. Shimojo, M. Takeguchi

研究成果: Article査読

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本文言語English
ページ(範囲)381-386
ジャーナルRev. Adv. Mater. Sci.
5
出版ステータスPublished - 2003 1 1

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