Post-deposition processes for nanostructures formed by electron beam induced deposition with Pt(PF3)4 precursor

M. Takeguchi, M. Shimojo, K. Furuya

研究成果: Article

15 引用 (Scopus)
元の言語English
ページ(範囲)439-442
ジャーナルAppl. Phys. A
93
出版物ステータスPublished - 2008 1 1

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