Post-deposition processes for nanostructures formed by electron beam induced deposition with Pt(PF3)4 precursor

M. Takeguchi, M. Shimojo, K. Furuya

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本文言語English
ページ(範囲)439-442
ジャーナルAppl. Phys. A
93
出版ステータスPublished - 2008 1 1

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