Precise characterization of nano-columnar DLC film by Raman spectroscopy and AFM

Tatsuhiko Aizawa, Takuhiko Uematsu

研究成果: Article査読

本文言語English
ページ(範囲)129-133
ジャーナルProceedings of 6th SEATUC Conference
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出版ステータスPublished - 2012 3 6

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