Precise tracking control for piezo-actuated stage using inverse compensation and model predictive control

Nguyen Manh Linh, Tran Vu Minh, Xinkai Chen

研究成果: Conference contribution

1 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Precise tracking control for piezo-actuated stage using inverse compensation and model predictive control」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science