Preparation and gas barrier characteristics of polysilazane-derived silica thin films using ultraviolet irradiation

Tomoji Ohishi, S. Sone, K Yanagida

研究成果: Article

元の言語English
ページ(範囲)105-111
ページ数7
ジャーナルScientific Reports
5
出版物ステータスPublished - 2014

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