Preparation and Wear Resistance of TiBC, TiBN, SiNx, Single layer Film and TiBC-SiNx and TiBN-SiNx Double Layer Film by Thermal Plasma CVD

Y. Fuji, S. Shimada, H. Kiyono

研究成果: Article査読

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本文言語English
ページ(範囲)287-293
ジャーナルJ. Jpn. Soc. Powder Powder Metallurgy
54
出版ステータスPublished - 2007 1 1

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