Properties of Liquid Phase Deposited SiO2 Films for Interlayer Dielectrics in Ultra-large-scale Integrated Circuit Multilevel Interconnections

T.Homma T.Homma, Y.Murao Y.Murao, Tetsuya Homma

研究成果: Article査読

21 被引用数 (Scopus)
本文言語English
ページ(範囲)15-21
ジャーナルThin Solid Films
249
出版ステータスPublished - 1994 9月 1

引用スタイル