Properties of liquid-phase-deposited SiO2 films for interlayer dielectrics in ultralarge-scale integrated circuit multilevel interconnections

Tetsuya Homma, Yukinobu Murao

研究成果: Article査読

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フィンガープリント

「Properties of liquid-phase-deposited SiO2 films for interlayer dielectrics in ultralarge-scale integrated circuit multilevel interconnections」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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