Proximity effect in electron beam-induced deposition

K. Mitsuishi, M. Shimojo, M. Takeguchi, M. Tanaka, K. Furuya

研究成果: Article

12 引用 (Scopus)
元の言語English
ページ(範囲)5517-5521
ジャーナルJpn. J. Appl. Phys
45
出版物ステータスPublished - 2006 1 1

これを引用

Mitsuishi, K., Shimojo, M., Takeguchi, M., Tanaka, M., & Furuya, K. (2006). Proximity effect in electron beam-induced deposition. Jpn. J. Appl. Phys, 45, 5517-5521.