Proximity effect in electron beam-induced deposition

K. Mitsuishi, M. Shimojo, M. Takeguchi, M. Tanaka, K. Furuya

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本文言語English
ページ(範囲)5517-5521
ジャーナルJpn. J. Appl. Phys
45
出版ステータスPublished - 2006 1 1

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