Quarter-micron Cu metallization using ultra-thin TiN barrier layers

K.Ueno K.Ueno, K.Ohta K.Ohta, K.Tsunenari K.Tsunenari, Kazuyoshi Ueno

研究成果: Article査読

本文言語English
ページ(範囲)95-101
ジャーナルAdvanced Metallization for ULSI Applications in 1994
出版ステータスPublished - 1994 10 1

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