Reliability of damascene copper interconnects (Invited)

K.Ueno K.Ueno, T.Ishigamil T.Ishigamil, Y.Kakuhara Y.Kakuhara, M.Kawano M.Kawano, Kazuyoshi Ueno

研究成果: Article査読

1 被引用数 (Scopus)
本文言語English
ページ(範囲)408-418
ジャーナルProceedings of ULSI Process Integration IV
2005
出版ステータスPublished - 2005 5 1

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