Resistivity and microstructure of alumina ceramics added with TiO2 fired in reducing atmosphere

Toshiya Wantanabe, Tetuo Kitabayashi, Chiaki Nakayama

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抄録

In this study, the relationship between electrical resistance and microstructures of TiO2-containing Al2O3 is studied in order to obtain the information necessary for precisely controlling electrical resistance of alumina ceramics for electrostatic chucks.

本文言語English
ページ(範囲)1076-1083
ページ数8
ジャーナルJournal of the Ceramic Society of Japan. International ed.
101
10
出版ステータスPublished - 1993 10 1

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  • 工学(全般)

フィンガープリント

「Resistivity and microstructure of alumina ceramics added with TiO<sub>2</sub> fired in reducing atmosphere」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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