Resolution in nanofabrication by electron-beam induced deposition combined with low energy ion milling

K. Mitsuishi, M. Shimojo, M. Tanaka, M. Takeguchi, K. Furuya

研究成果: Conference contribution

フィンガープリント

「Resolution in nanofabrication by electron-beam induced deposition combined with low energy ion milling」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。