Retarded growth of sputtered HfO2 films on germanium

Koji Kita, Masashi Sasagawa, Masahiro Toyama, Kentaro Kyuno, Akira Toriumi

研究成果: Conference article査読

フィンガープリント

「Retarded growth of sputtered HfO2 films on germanium」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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