Reversible creation and annihilation of a local leakage path in HfO2/GeOx stacked gate dielectrics: A direct observation by ultrahigh vacuum conducting atomic force microscopy

K.Yamamura K.Yamamura, K.Kita K.Kita, A.Toriumi A.Toriumi, K.Kyuno K.Kyuno, Kentaro Kyuno

研究成果: Article査読

本文言語English
ジャーナルApplied Physics Letters 89
出版ステータスPublished - 2006 11 1

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