Seed layer dependence of room-temperature recrystallization elecroplated copper films

K.Ueno K.Ueno, T.Ritzdorf T.Ritzdorf, S.Grace S.Grace, Kazuyoshi Ueno

研究成果: Article査読

63 被引用数 (Scopus)
本文言語English
ページ(範囲)4930-4935
ジャーナルJournal of Applied Physics
86
出版ステータスPublished - 1999 11月 1

引用スタイル