Simulation analysis of a miniaturized electron optics of the massively parallel electron-beam direct-write (MPEBDW) for multi-column system

Akira Kojima, Naokatsu Ikegami, Hiroshi Miyaguchi, Takashi Yoshida, Ryutaro Suda, Shinya Yoshida, Masanori Muroyama, Kentaro Totsu, Masayoshi Esashi, Nobuyoshi Koshida

研究成果: Conference contribution

2 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Simulation analysis of a miniaturized electron optics of the massively parallel electron-beam direct-write (MPEBDW) for multi-column system」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Mathematics

Physics & Astronomy

Chemical Compounds

Engineering & Materials Science